洁净层流罩的应用

一、灵活性。因为层流罩是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，层流罩的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。

第二、可再利用性。从理论上讲，一时不用的层流罩设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三、负压通风。这是层流罩的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。

第四、缩短建设周期。使用层流罩省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用层流罩成为了一种可能。

第五、减少运行成本。虽然在选用层流罩时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少40%的运行成本。